微波发生器、等离子体源、微波辅助化学、射频发生器相关设备
法国SAIREM公司是专业从事微波和射频实验室和工业设备的国际领导者之一,设备可用于食品加工、干燥、医药和科学研究应用,包括等离子体和微波辅助化学等领域。SAIREM的关键技术在于能够开发出覆盖整个电磁能量范围的应用。SAIREM还能够将标准的或定制的过程从实验室放大到工业级,功率从从几瓦到几百千瓦。
微波发生器、等离子体源、微波辅助化学、射频发生器相关设备新品发布如下:
用于薄膜沉积的电子回旋共振ECR 2.45 GHz的Aura-Wave同轴等离子体源
用于薄膜和纳米晶金刚石NCD沉积的碰撞型2.45GHz的Hi-Wave同轴等离子源
用于单晶金刚石生长的PECVD和大气等离子体的新款全数字6kW/10kW的2.45GHz的第四代微波发生器(G4)
用于单晶金刚石的生长36kW/54kW/72kW的915MHz微波发生器。

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