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产品列表
技术资料


铁电压电材料分析设备
铁电压电分析仪 TF Analyzer 1000
铁电压电分析仪 TF Analyzer 2000E
铁电压电分析仪 TF Analyzer 3000
压电材料综合表征系统 aixPES
多铁材料磁电磁阻测试仪aixPES-MR
高温块体压电分析仪aixPES-600/800
低温块体压电分析仪aixPES-Cryo
电卡效应测试仪 ECM
热激发极化电流测试仪 TSDC
超薄薄膜压电双光束激光干涉仪 aixDBLI
陶瓷多层执行器测试仪 aixCMA
机电薄膜e31测试仪 aix4PB
阻变式存储器测试仪 RRAM
铁电迟豫电流测试仪 aixPES-RX
铁电自放电测试仪 aixPES-DR
铁电随机存储器测试仪 FeRAM
热释电性能测试仪 aixPYM
热电性能测试仪 COMTESSE

汽车测试设备
汽车六轴力和扭矩传感系统 aixFORCE
汽车高速温度压力传感系统 aixHSTPM
汽车齿轮NVH传感器 NVH Sensor

汽车遥测系统 Telemetry System

电子束能量分布测试设备
电子束能量分布测试仪diaBEAM

储氢材料测试设备
压力组分温度PCT测试仪

微纳米加工设备
电子束光刻 EBL
超高分辨率电子束光刻 EBL
原子层沉积系统 ALD

微波/射频等离子体相关设备
微波发生器2.45GHz系列
微波发生器915MHz系列
等离子体源 Plasma Sources
微波化学系列Microwave Chemistry
射频RF发生器系列
用于等离子体的直流电源DC系列
微波等离子体专用水冷机系列
微波等离子体增强化学气相沉积 MPECVD

 

 

微波发生器、等离子体源、微波辅助化学、射频发生器相关设备

法国SAIREM公司是专业从事微波和射频实验室和工业设备的国际领导者之一,设备可用于食品加工、干燥、医药和科学研究应用,包括等离子体和微波辅助化学等领域。SAIREM的关键技术在于能够开发出覆盖整个电磁能量范围的应用。SAIREM还能够将标准的或定制的过程从实验室放大到工业级,功率从从几瓦到几百千瓦。


微波发生器、等离子体源、微波辅助化学、射频发生器相关设备新品发布如下:

用于薄膜沉积的电子回旋共振ECR 2.45 GHz的Aura-Wave同轴等离子体源
用于薄膜和纳米晶金刚石NCD沉积的碰撞型2.45GHz的Hi-Wave同轴等离子源
用于单晶金刚石生长的PECVD和大气等离子体的新款全数字6kW/10kW的2.45GHz的第四代微波发生器(G4)
用于单晶金刚石的生长36kW/54kW/72kW的915MHz微波发生器。


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