铁电压电材料分析设备
铁电压电分析仪 TF Analyzer 1000
铁电压电分析仪 TF Analyzer 2000E
铁电压电分析仪 TF Analyzer 3000
压电材料综合表征系统 aixPES
多铁材料磁电磁阻测试仪aixPES-MR
高温块体压电分析仪aixPES-600/800
低温块体压电分析仪aixPES-Cryo
电卡效应测试仪 ECM
热激发极化电流测试仪 TSDC
超薄薄膜压电双光束激光干涉仪 aixDBLI
陶瓷多层执行器测试仪 aixCMA
机电薄膜e31测试仪 aix4PB
阻变式存储器测试仪 RRAM
铁电迟豫电流测试仪 aixPES-RX
铁电自放电测试仪 aixPES-DR
铁电随机存储器测试仪 FeRAM
热释电性能测试仪 aixPYM
热电性能测试仪 COMTESSE
柔性材料d31/d32测量装置 ESPY31
柔性材料d33测量装置 ESPY33

汽车测试设备
汽车六轴力和扭矩传感系统 aixFORCE
汽车高速温度压力传感系统 aixHSTPM
汽车齿轮NVH传感器 NVH Sensor
汽车遥测系统 Telemetry System

电子束能量分布测试设备
电子束能量分布测试仪diaBEAM

储氢材料测试设备
压力组分温度PCT测试仪

微纳米加工设备
电子束光刻 EBL
超高分辨率电子束光刻 EBL
原子层沉积系统 ALD

微波/射频等离子体相关设备
微波发生器2.45GHz系列
微波发生器915MHz系列
等离子体源 Plasma Sources
微波化学系列Microwave Chemistry
射频RF发生器系列
用于等离子体的直流电源DC系列
微波等离子体专用水冷机系列
微波等离子体增强化学气相沉积 MPECVD

 

机电薄膜e31测试仪 aix4PB
(Electromechanical thin film e31 analyzer )

薄膜材料的机电性能是MEMS器件设计的关键性能，纵向压电系数d33和横向压电系数e31被用于表征传感器和执行器的这些关键性能。
纵向压电系数可由aixDBLI测试，而横向压电系数e31就可用aix4PB系统测试。
通过必要夹具，可以测得正向e31和逆向e31。

标准的aix4PB系统主要由以下部分组成：四点弯曲样品夹具、TF Analyzer 2000、单光束激光测振仪。
可以进行如下测试功能：
全部铁电性能表征，基于TF2000系统，包括极化、电容、漏电流、疲劳测试。
有效横向压电系数的测量通过交替均匀机械力施加于样品，并测试产生的电荷。
所有的测量数据也可以在附加的压缩或拉伸静态负载下进行，这也覆盖了整个压电薄膜在整个MEMS器件中的行程。

特点/规格：
四点弯曲样品夹具：
产生力的压电执行器
激光测振仪夹具
很容易接触到顶部和底部的样品电极
所有的TF2000系统的测试功能
远程接入和脚本控制的可选件
单光束激光干涉仪，最小分辨率1nm

软件：
Windows 7 操作系统
通过GPIB或以太网的远程接入和脚本控制
通过ODBC接口的数据库连接
测试数据通过ASCII形式输出
测试数据交换通过aixPlorer软件或Resonance Analyzer