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产品列表
产品介绍


铁电压电材料分析设备
铁电压电分析仪 TF Analyzer 1000
铁电压电分析仪 TF Analyzer 2000E
铁电压电分析仪 TF Analyzer 3000
压电材料综合表征系统 aixPES
多铁材料磁电磁阻测试仪aixPES-MR
高温块体压电分析仪aixPES-600/800
低温块体压电分析仪aixPES-Cryo
电卡效应测试仪 ECM
热激发极化电流测试仪 TSDC
超薄薄膜压电双光束激光干涉仪 aixDBLI
陶瓷多层执行器测试仪 aixCMA
机电薄膜e31测试仪 aix4PB
阻变式存储器测试仪 RRAM
铁电迟豫电流测试仪 aixPES-RX
铁电自放电测试仪 aixPES-DR
铁电随机存储器测试仪 FeRAM
热释电性能测试仪 aixPYM
热电性能测试仪 COMTESSE

电子束能量分布测试制备
电子束能量分布测试仪diaBEAM

储氢材料测试制备
压力组分温度PCT测试仪

微纳米加工设备
电子束光刻 EBL
超高分辨率电子束光刻 EBL

表面沉积与制备设备
微波等离子体增强化学气相沉积 MPECVD

生化类分析设备
圆二色光谱仪 CD
动力学停留 Stopped-flow CD

 

 

铁电随机存储器测试仪
FeRAM (Ferroelectric Random Access Memory) Cell Tester


内存窗口信息是基于对器件完全集成后进行模拟电滞回线测量后得出的。

应用领域:
铁电存储器的生产
生产过程中的质量控制,以便不会影响到CMOS生产过程
在MHz的操作速度下,单级电滞回线数据

优点:
生产过程的工艺优化
在MHz范围的时间影响测试
适用于2T-2C 设计和1T-1C设计
从模拟测试数据得出内存窗口信息
客户可定制测试环境
升级服务
客户支持

程序功能:
可以在单一器件上进行电滞回线、PUND脉冲测试等测试过程。
上升时间最低可实现1μm,自定义的测试脉冲可以用于测试不同类型的失效机制。预极化脉冲参数可以在测试序列里单独设置。
可以使用Access Time程序进行相同脉冲强度下不同幅值相同脉冲宽度或相同脉冲幅值不同脉冲宽度的测试。
这些测试是基于独有的专利技术:原位寄生电容补偿。

特点:
FeRAM测试仪是用来记录全面的测试单元电滞回线的,测试仪生成所需要的时间。
如果芯片的布局发生变化,可以自动获取材料特性较大的阵列。这种情况下,测试仪是用一个开关盒和一个探针台工作的。软件可以自动调整设置的参数。
参数的统计评价是通过aixPlorer完成的。
FeRAM测试仪最大的优点就是可以使重要信息流程化,从而提高产量,降低了成本,从而减少了产品上市的时间。相关的数字结果和模拟实验提供了重要信息。
FeRAM测试仪拥有高分辨测量和速度到微秒的测量功能。


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