铁电压电材料分析设备
铁电压电分析仪 TF Analyzer 1000
铁电压电分析仪 TF Analyzer 2000E
铁电压电分析仪 TF Analyzer 3000
压电材料综合表征系统 aixPES
多铁材料磁电磁阻测试仪aixPES-MR
高温块体压电分析仪aixPES-600/800
低温块体压电分析仪aixPES-Cryo
电卡效应测试仪 ECM
热激发极化电流测试仪 TSDC
超薄薄膜压电双光束激光干涉仪 aixDBLI
陶瓷多层执行器测试仪 aixCMA
机电薄膜e31测试仪 aix4PB
阻变式存储器测试仪 RRAM
铁电迟豫电流测试仪 aixPES-RX
铁电自放电测试仪 aixPES-DR
铁电随机存储器测试仪 FeRAM
热释电性能测试仪 aixPYM
热电性能测试仪 COMTESSE
柔性材料d31/d32测量装置 ESPY31

汽车测试设备
汽车六轴力和扭矩传感系统 aixFORCE
汽车高速温度压力传感系统 aixHSTPM
汽车齿轮NVH传感器 NVH Sensor
汽车遥测系统 Telemetry System

电子束能量分布测试设备
电子束能量分布测试仪diaBEAM

储氢材料测试设备
压力组分温度PCT测试仪

微纳米加工设备
电子束光刻 EBL
超高分辨率电子束光刻 EBL
原子层沉积系统 ALD

微波/射频等离子体相关设备
微波发生器2.45GHz系列
微波发生器915MHz系列
等离子体源 Plasma Sources
微波化学系列Microwave Chemistry
射频RF发生器系列
用于等离子体的直流电源DC系列
微波等离子体专用水冷机系列
微波等离子体增强化学气相沉积 MPECVD

 

超高分辨率电子束光刻EBL
Ultrahigh Resolution EB Lithography (CABL-UH series)

纳米光刻技术在微纳电子器件制作中起着关键作用,而电子束光刻在纳米光刻技术制作中是最好的方法之一。日本CRESTEC公司为21世纪先进纳米科技提供尖端 的电子束纳米光刻（EBL）系统，或称电子束直写（EBD）、电子束爆光系统。 

超高分辨率的电子束光刻CABL-UH系列的型号包括：
CABL-UH90 (90keV) 、CABL-UH110 (110keV) 、CABL-UH130 (130keV)

技术参数：
加速电压：最高130keV
单段加速能力达到130keV，尽量减少电子枪的长度
超短电子枪长度，无微放电
电子束直径＜1.6nm
最小线宽＜7nm
双热控制，实现超稳定直写能力