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铁电压电材料分析设备 铁电压电分析仪 TF Analyzer 1000 铁电压电分析仪 TF Analyzer 2000E 铁电压电分析仪 TF Analyzer 3000 压电材料综合表征系统 aixPES 多铁材料磁电磁阻测试仪aixPES-MR 高温块体压电分析仪aixPES-600/800 低温块体压电分析仪aixPES-Cryo 电卡效应测试仪 ECM 热激发极化电流测试仪 TSDC 超薄薄膜压电双光束激光干涉仪 aixDBLI 陶瓷多层执行器测试仪 aixCMA 机电薄膜e31测试仪 aix4PB 阻变式存储器测试仪 RRAM 铁电迟豫电流测试仪 aixPES-RX 铁电自放电测试仪 aixPES-DR 铁电随机存储器测试仪 FeRAM 热释电性能测试仪 aixPYM 热电性能测试仪 COMTESSE 柔性材料d31/d32测量装置 ESPY31
汽车测试设备 汽车六轴力和扭矩传感系统 aixFORCE 汽车高速温度压力传感系统 aixHSTPM 汽车齿轮NVH传感器 NVH Sensor 汽车遥测系统 Telemetry System
电子束能量分布测试设备 电子束能量分布测试仪diaBEAM
储氢材料测试设备 压力组分温度PCT测试仪
微纳米加工设备 电子束光刻 EBL 超高分辨率电子束光刻 EBL 原子层沉积系统 ALD
微波/射频等离子体相关设备 微波发生器2.45GHz系列 微波发生器915MHz系列 等离子体源 Plasma Sources 微波化学系列Microwave Chemistry 射频RF发生器系列 用于等离子体的直流电源DC系列 微波等离子体专用水冷机系列 微波等离子体增强化学气相沉积 MPECVD
微波等离子增强化学气相沉积系统(MPECVD / MPCVD) 来自韩国的微波等离子增强化学气相沉积系统,以期性能卓越操作方便得到美国、韩国、日本、香港和中国大陆多家科研机构的认可。
应用: 多壁CNT(碳纳米管)、垂直生长CNT、水平生长CNT、单壁CNT、 金刚石薄膜、纳米金刚石薄膜、类金刚石薄膜(DLC)、 SiC、其他超硬薄膜。
参数: 基本真空:2×10-3Torr (纳米尺度材料可选更高) 微波源: 2.45GHz 2kW 加热温度:900℃ 掺杂: MFC控制三路气源(可增加至6路气源) 关键参数:气体种类、流速、微波功率、基底位置、加热温度等
特点: 等离子体对表面没有伤害; 更高的等离子体活性; 更长的等离子体寿命; 不受电极污染; 结构紧凑,操作方便; 多种参数控制可以方便的满足沉积不同种类的材料的研究工作。
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