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产品列表
产品介绍


铁电压电材料分析设备
铁电压电分析仪 TF Analyzer 1000
铁电压电分析仪 TF Analyzer 2000E
铁电压电分析仪 TF Analyzer 3000
压电材料综合表征系统 aixPES
多铁材料磁电磁阻测试仪aixPES-MR
高温块体压电分析仪aixPES-600/800
低温块体压电分析仪aixPES-Cryo
电卡效应测试仪 ECM
热激发极化电流测试仪 TSDC
超薄薄膜压电双光束激光干涉仪 aixDBLI
陶瓷多层执行器测试仪 aixCMA
机电薄膜e31测试仪 aix4PB
阻变式存储器测试仪 RRAM
铁电迟豫电流测试仪 aixPES-RX
铁电自放电测试仪 aixPES-DR
铁电随机存储器测试仪 FeRAM
热释电性能测试仪 aixPYM
热电性能测试仪 COMTESSE

电子束能量分布测试制备
电子束能量分布测试仪diaBEAM

储氢材料测试制备
压力组分温度PCT测试仪

微纳米加工设备
电子束光刻 EBL
超高分辨率电子束光刻 EBL

微波/射频等离子体相关设备
微波发生器2.45GHz系列
微波发生器915MHz系列
等离子体源 Plasma Sources
微波化学系列Microwave Chemistry
射频RF发生器系列
用于等离子体的直流电源DC系列
微波等离子体专用水冷机系列
微波等离子体增强化学气相沉积 MPECVD

 

 

微波等离子增强化学气相沉积系统(MPECVD / MPCVD)

来自韩国的微波等离子增强化学气相沉积系统,以期性能卓越操作方便得到美国、韩国、日本、香港和中国大陆多家科研机构的认可。

应用:
多壁CNT(碳纳米管)、垂直生长CNT、水平生长CNT、单壁CNT、
金刚石薄膜、纳米金刚石薄膜、类金刚石薄膜(DLC)、
SiC、其他超硬薄膜。

参数:
基本真空:2×10-3Torr (纳米尺度材料可选更高)
微波源: 2.45GHz 2kW
加热温度:900℃
掺杂: MFC控制三路气源(可增加至6路气源)
关键参数:气体种类、流速、微波功率、基底位置、加热温度等

特点:
等离子体对表面没有伤害;
更高的等离子体活性;
更长的等离子体寿命;
不受电极污染;
结构紧凑,操作方便;
多种参数控制可以方便的满足沉积不同种类的材料的研究工作。


 


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