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产品列表
产品介绍


铁电压电材料分析设备
铁电压电分析仪 TF Analyzer 1000
铁电压电分析仪 TF Analyzer 2000E
铁电压电分析仪 TF Analyzer 3000
压电材料综合表征系统 aixPES
多铁材料磁电磁阻测试仪aixPES-MR
高温块体压电分析仪aixPES-600/800
低温块体压电分析仪aixPES-Cryo
电卡效应测试仪 ECM
热激发极化电流测试仪 TSDC
超薄薄膜压电双光束激光干涉仪 aixDBLI
陶瓷多层执行器测试仪 aixCMA
机电薄膜e31测试仪 aix4PB
阻变式存储器测试仪 RRAM
铁电迟豫电流测试仪 aixPES-RX
铁电自放电测试仪 aixPES-DR
铁电随机存储器测试仪 FeRAM
热释电性能测试仪 aixPYM
热电性能测试仪 COMTESSE

电子束能量分布测试制备
电子束能量分布测试仪diaBEAM

储氢材料测试制备
压力组分温度PCT测试仪

微纳米加工设备
电子束光刻 EBL
超高分辨率电子束光刻 EBL

表面沉积与制备设备
微波等离子体增强化学气相沉积 MPECVD

生化类分析设备
圆二色光谱仪 CD
动力学停留 Stopped-flow CD

 

 

双光束激光干涉仪 aixDBLI
(Double Beam Laser Interferometer
)

双光束激光干涉仪专门用于压电薄膜的蝴蝶曲线和纵向压电系数d33的测试。
这是世界上第一台适合于从小尺寸薄膜到8英寸晶圆表征的双光束激光干涉仪。
半自动的系统用于8"晶圆上的MEMS器件的压电性和电性相关性能的测试。
大量样品测试的重复精度可达2%以上。

测试功能:
机电大信号应变、极化、压电系数、小信号介电常数。
疲劳和电性及机械性能可靠性。

样品测试:
极化曲线和位移曲线。
小信号电容及压电系数。

技术参数:
分辨率: ≤1 pm(X晶向的石英)
测量范围:5pm- +/- 25nm
波长:632.8nm
位移/应力测试:>50Hz,最小1Hz分辨率,100mV到10V(可选到200V)
压电d33系数:
  基电压100mV到10V(1mHz到1Hz),可选到200V
  小信号100mV到10V(1kHz到5kHz)
C-V测试:
  基电压100mV到10V(1mHz到1Hz),可选到200V
小信号100mV到10V(1kHz到5kHz)


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