铁电压电材料分析设备
铁电压电分析仪 TF Analyzer 1000
铁电压电分析仪 TF Analyzer 2000E
铁电压电分析仪 TF Analyzer 3000
压电材料综合表征系统 aixPES
多铁材料磁电磁阻测试仪aixPES-MR
高温块体压电分析仪aixPES-600/800
低温块体压电分析仪aixPES-Cryo
电卡效应测试仪 ECM
热激发极化电流测试仪 TSDC
超薄薄膜压电双光束激光干涉仪 aixDBLI
陶瓷多层执行器测试仪 aixCMA
机电薄膜e31测试仪 aix4PB
阻变式存储器测试仪 RRAM
铁电迟豫电流测试仪 aixPES-RX
铁电自放电测试仪 aixPES-DR
铁电随机存储器测试仪 FeRAM
热释电性能测试仪 aixPYM
热电性能测试仪 COMTESSE

汽车测试设备
汽车六轴力和扭矩传感系统 aixFORCE
汽车高速温度压力传感系统 aixHSTPM
汽车齿轮NVH传感器 NVH Sensor
汽车遥测系统 Telemetry System

电子束能量分布测试设备
电子束能量分布测试仪diaBEAM

储氢材料测试设备
压力组分温度PCT测试仪

微纳米加工设备
电子束光刻 EBL
超高分辨率电子束光刻 EBL
原子层沉积系统 ALD

微波/射频等离子体相关设备
微波发生器2.45GHz系列
微波发生器915MHz系列
等离子体源 Plasma Sources
微波化学系列Microwave Chemistry
射频RF发生器系列
用于等离子体的直流电源DC系列
微波等离子体专用水冷机系列
微波等离子体增强化学气相沉积 MPECVD

 

Plasma Sources 等离子体源系列

法国SAIREM公司是拥有40多年的微波和射频工程经验的高科技公司，可为用户定制电子设计、应用开发、工艺设计和生产标准化的微波、射频、直流发生器、等离子体源等相关产品。

微波技术在等离子体实验室和工业中不断发现新的应用，这是由于微波等离子体的许多优点，例如，超密度等离子体-离子和活性物种，电极更少，在各种压力下的操作。微波辅助等离子体在金刚石沉积、表面活化、杀菌、纳米材料合成、气体净化等方面的应用。
为了满足这些复杂技术所要求的越来越苛刻的要求，我们已经开发出了自己的等离子体源和反应器。

我们可以提供关于选择等离子设备和适合你需要的微波频率的建议，还可根据要求提供特殊配置，并且乐于帮助开发您自己应用的设备。
主要应用领域：

1. 分析
2. 金刚石沉积
3. 表面清洗
4. 蚀刻
5. 防止污染
6. 化学合成

(301)Downstream 等离子体源

这种表面波的等离子体源产生等离子体，在一个标准的WR340波导中（直径20-60毫米）。这种等离子体源可以根据压力、微波功率和等离子气体的性质，使长等离子体的点火和维持。

压力范围：10-2mbar到大气压力
气体类型：Ar，N2，O2，空气，……
最大功率：6kW
应用类型：自由基/反应性物种的产生，表面激活，PECVD，气体减排，气化，灭菌（UV），纳米粒子合成

(302)Surfaguide 等离子体源

压力范围：mbar到atm
主要用于：气体减排、气化、灭菌、纳米粉合成、表面活化、大气高温化学

 

(303)AURAWAVE 同轴ECR等离子体源（低压等离子体）
KF/CF法兰，氟橡胶密封圈/无氧铜密封圈，搭配固态微波发生器，可组成阵列

(304)HI-WAVE 同轴碰撞型等离子体源（中压等离子体）
KF/CF法兰，氟橡胶密封圈/无氧铜密封圈，搭配固态微波发生器，可组成阵列

 

(305)S-WAVE等离子体源（Surface Wave plasma source 表面波等离子体源，搭配固态微波发生器），主要特点：

1. 频率2450MHz±50MHz
2. 最大微波功率200W
3. 集成到DBD点火系统（Dielectric Barrier Discharge介质阻挡放电点火系统）
4. 压力范围10-2mbar到大气压
5. Ar和基于Ar基混合物可在1atm下使用
6. 所有气体都可在更低压力下使用
7. 直径6或8毫米的电介质管
8. Swagelok 6mm气体连接器

主要应用领域：表面活化、元素分析、原子层沉积、气体减排、分子激活/物质活化、杀菌消毒、减少细菌附着、慢性伤口和受感染皮肤的治疗

 

如有任何需求和相关问题，敬请电话或邮件垂询。