铁电压电材料分析设备
铁电压电分析仪 TF Analyzer 1000
铁电压电分析仪 TF Analyzer 2000E
铁电压电分析仪 TF Analyzer 3000
压电材料综合表征系统 aixPES
多铁材料磁电磁阻测试仪aixPES-MR
高温块体压电分析仪aixPES-600/800
低温块体压电分析仪aixPES-Cryo
电卡效应测试仪 ECM
热激发极化电流测试仪 TSDC
超薄薄膜压电双光束激光干涉仪 aixDBLI
陶瓷多层执行器测试仪 aixCMA
机电薄膜e31测试仪 aix4PB
阻变式存储器测试仪 RRAM
铁电迟豫电流测试仪 aixPES-RX
铁电自放电测试仪 aixPES-DR
铁电随机存储器测试仪 FeRAM
热释电性能测试仪 aixPYM
热电性能测试仪 COMTESSE
柔性材料d31/d32测量装置 ESPY31

汽车测试设备
汽车六轴力和扭矩传感系统 aixFORCE
汽车高速温度压力传感系统 aixHSTPM
汽车齿轮NVH传感器 NVH Sensor
汽车遥测系统 Telemetry System

电子束能量分布测试设备
电子束能量分布测试仪diaBEAM

储氢材料测试设备
压力组分温度PCT测试仪

微纳米加工设备
电子束光刻 EBL
超高分辨率电子束光刻 EBL
原子层沉积系统 ALD

微波/射频等离子体相关设备
微波发生器2.45GHz系列
微波发生器915MHz系列
等离子体源 Plasma Sources
微波化学系列Microwave Chemistry
射频RF发生器系列
用于等离子体的直流电源DC系列
微波等离子体专用水冷机系列
微波等离子体增强化学气相沉积 MPECVD

 

aixACCT推出FBAR用AlN薄膜测试系统 aixDBLI

FBAR用AlN薄膜研究利器---德国aixACCT公司aixDBLI晶圆双光束激光干涉仪测试系统

国际上FBAR用AlN薄膜的研究如火如荼，各国科学家都在下大力气进行将AlN作为压电层的薄膜体声波谐振器的研究。然而大家对材料往往结构表征丰富，而电学、机电性能表征不足。为此，德国aixACCT公司基于数十年对铁电压电热释电综合测试系统的研究基础上，开发出了aixDBLI晶圆双光束激光干涉仪测试系统。

aixDBLI晶圆双光束激光干涉仪是针对于1-8英寸晶圆上的MEMS器件的铁电压电性能测试，用的是双光束激光干涉仪的方法非接触式测试。

形变测试范围5pm到±25nm。

更多详细信息，敬请联系我们。