专门用于DFB-LD分布式反馈激光器的EBL电子束光刻系统
DFB( Distributed Feedback Laser),即分布式反馈激光器,其不同之处是内置了布拉格光栅(Bragg Grating),属于侧面发射的半导体激光器。目前,DFB激光器主要以半导体材料为介质,包括锑化镓(GaSb)、砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)、硫化锌(ZnS)等。DFB激光器最大特点是具有非常好的单色性(即光谱纯度),它的线宽普遍可以做到1MHz以内,以及具有非常高的边模抑制比(SMSR),目前可高达40-50dB以上
。
经过十多年在 DFB-LD分布式反馈激光器制备设备领域的技术经验,CRESTEC公司提供了更经济、更加环境友好、更低运行成本和更高性能的专用电子束光刻系统EBL。
CRESTEC公司的电子束光刻系统已经在分布式反馈激光器的领域的国际市场上获得第一的市场占有率。
更多详细信息,敬请联系我们。